هرچند پیشرفتهترین تراشههای فعلی با لیتوگرافی EUV ساخته میشوند، اما ماشینهای لیتوگرافی DUV هنوز هم کاربردهای گستردهای به خصوص در بخش حافظه دارند. حال یک گزارش جدید نشان میدهد که یک شرکت چینی تولید صنعتی دستگاههای لیتوگرافی DUV راه آغاز کرده و حافظهسازهای این کشور اولین مشتریان آن هستند.
شرکت چینی CXMT که بهتازگی عرضه اولیه (IPO) بسیار موفقی را پشت سر گذاشته، قرار است یکی از نخستین دریافتکنندگان دستگاههای لیتوگرافی DUV ساخت داخل چین باشد. این حرکت در صورت تحقق میتواند وابستگی این شرکت به تجهیزات غربی را کاهش داده و مسیر توسعه نسل بعدی حافظههای 3D DRAM را هموارتر کند.

بومیسازی پرکاربردترین ماشین لیتوگرافی
بر اساس گزارشی از The Information، شرکت Shanghai Yuliangsheng Technology بهتازگی وارد حوزه ساخت تجهیزات لیتوگرافی DUV شده و قصد دارد امسال ۵ دستگاه و در سال آینده ۲۰ دستگاه آن را تولید کند. گفته میشود نخستین محمولههای این تجهیزات به سه بازیگر کلیدی صنعت نیمههادی چین، یعنی CXMT، SMIC و Hua Hong تحویل خواهد شد. برای مقایسه، شرکت ASML سال گذشته ۱۳۱ ماشین لیتوگرافی DUV را تحویل مشتریانش داده است.
لیتوگرافی DUV با استفاده از نور فرابنفش با طول موج ۱۹۳ نانومتر، الگوهای مدار را روی ویفر سیلیکونی ایجاد میکند. اگرچه این فناوری نسبت به لیتوگرافی EUV قدیمیتر است، اما با بهرهگیری از روشهایی مانند پرتودهی چندمرحلهای (Multi-patterning) و تکنیکهای بهینهسازی همزمان طراحی و فناوری (DTCO)، همچنان امکان تولید تراشههای پیشرفتهتر را فراهم میکند.
اطلاعات منتشرشده حاکی از آن است که این تجهیزات از نوع لیتوگرافی غوطهوری ۲۸ نانومتری (28nm Immersion DUV) هستند و به جز برخی اجزای حساس که از ژاپن میآیند، بخش عمده قطعات آن در داخل چین تولید شده.

راهی برای بی اثر کردن تحریمها توسط حافظهسازان چینی
تولید موفق این دستگاه میتواند تأثیر محدودیتهای احتمالی ناشی از قانون MATCH آمریکا را تا حد زیادی کاهش دهد. این قانون با هدف جلوگیری از فروش یا ارائه خدمات مرتبط با دستگاههای لیتوگرافی DUV غربی به شرکتهای چینی تدوین شده و دسترسی چین به تجهیزات پیشرفته تولید تراشه را بیش از پیش محدود میکند.
دریافت تجهیزات DUV بومی برای CXMT اهمیت زیادی دارد زیرا این شرکت به دلیل محدودیتهای صادراتی، به دستگاههای EUV دسترسی ندارد و استراتژی خود را بر توسعه حافظههای 3D DRAM متمرکز کرده است. در این معماری، سلولهای حافظه بهصورت عمودی روی یکدیگر قرار میگیرند تا بدون نیاز به کوچکتر شدن ابعاد افقی تراشه، ظرفیت و چگالی ذخیرهسازی افزایش یابد.
در همین رابطه بخوانید:
- گزارشها از آزمایش مخفیانه پیشرفتهترین ابزار ساخت انسان در چین
- شروع طوفانی سازنده تراشه چینی؛ ارزش CXMT به 487 میلیارد دلار رسید
از سوی دیگر، CXMT پس از عرضه اولیه سهام، رشد چشمگیر نزدیک به ۵۰۰ درصدی ارزش سهام خود را تجربه کرد. این شرکت اعلام کرده سرمایه جذبشده را صرف افزایش ظرفیت تولید خواهد کرد. بهطوریکه ظرفیت ماهانه آن تا پایان سال از حدود ۲۰۰ هزار ویفر به ۳۰۰ هزار ویفر خواهد رسید. همچنین دو کارخانه جدید در شهرهای دیگر چین در دست ساخت است که ظرفیت تولید را در آینده به ۶۰۰ هزار ویفر در ماه افزایش میدهد.
در حال حاضر CXMT تولید انبوه حافظههای 1a DRAM را با فرآیند G5 انجام میدهد و در صورت تحقق برنامههای توسعه، این شرکت تا پایان دهه جاری میتواند از نظر حجم تولید به یکی از بزرگترین تولیدکنندگان حافظه DRAM جهان تبدیل شود.













نظر خود را اضافه کنید.
برای ارسال نظر وارد شوید
ارسال نظر بدون عضویت در سایت